FAB

Processus de jonction aluminium VTT

Description

Ce procédé permet de fabriquer des structures coplanaires sur un substrat de silicium à haute résistivité, comme des résonateurs avec des facteurs de qualité d’environ un million. Les jonctions en aluminium (style Manhattan) fabriquées par lithographie par faisceau d’électrons peuvent être utilisées pour fabriquer des qubits transmoniques.

CMC propose ce procédé dans le cadre d’un service de plaquettes multi-projets (MPW).

Joints Al-AlOx-Al avec une résistance à l’état normal allant de 4k à 15 kOhm
Substrat de silicium à haute résistivité
Couche de câblage en Nb

Applications

Joints de Josephson
SQUIDs
Résonateurs
Qubits
Électronique à basse température

Services

Kits de conception
Services de vérification des règles de conception
Support d’ingénierie CMC

Fonctionnalités

Résonateurs en Nb avec un facteur Q d’environ un million
Joints en aluminium

Tarification

Tarifs

Tarification pour abonnés

30 000 $
(per 5 x 5 mm² design)

Cliquez pour la tarification des abonnés

Remarque :

Les prix indiqués sont en dollars américains et n’incluent pas l’assistance technique. Contactez [email protected] pour un devis.
Les prix sont susceptibles d’être modifiés.

Note :

Des prix réduits sont disponibles pour les universitaires au Canada avec un abonnement au CMC. Vous devez vous connecter pour le voir.

License

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Pour les universitaires canadiens

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