En partenariat avec Science Foundry, CMC offre aux utilisateurs un accès à la technologie La technologie Poly MEMS est un procédé de micro-usinage à surface métallique unique à triple polysilicium avec de l’oxyde déposé (PSG) comme matériau sacrificiel et du nitrure de silicium pour l’isolation électrique du substrat. Le post-traitement pour Poly MEMS offre en option une libération HF et un séchage au dioxyde de carbone supercritique. Cette technologie permet aux utilisateurs de développer l’acoustique, les capteurs de mouvement, les MEMS optiques, etc. et le micro-assemblage. Pour de plus amples renseignements, communiquez avec [email protected].
FAB
Post-traitement de Science Foundry pour Poly MEMS
Description
Fonctionnalités
- Libération de HF en option et séchage au dioxyde de carbone supercritique.
- Permet aux utilisateurs de développer l’acoustique, les capteurs de mouvement, les MEMS optiques, etc.
Kits de conception et bibliothèques
Tarification
Tarifs
Tarification pour abonnés
À venir prochainement…
Note :
Des prix réduits sont disponibles pour les universitaires au Canada avec un abonnement au CMC. Vous devez vous connecter pour le voir.
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Pour les universitaires canadiens
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