- silicium-sur isolant, film de Si de 220 nm, oxyde enfoui de 2000 nm (BOX)
- Plaquette à haute résistivité (>750 ohm-cm)
- lithographie UV profonde de 193 nm pour les guides d’ondes, permettant des caractéristiques jusqu’à environ 140 nm
- Deux gravures partielles et une gravure complète du silicium supérieur
- 6 implants pour modulateurs optiques (P++, P+, P, N++, N+, N)
- Dépôt et implantation de germanium pour les photodétecteurs
- Deux niveaux de métal, pas de planarisation
- Gravure à l’oxyde face avant pour exposer sélectivement les guides d’ondes, p. ex., pour les applications de détection
- tranchée profonde avec facettes gravées pour le couplage des bords
- Appuie la conception et la fabrication d’une gamme de composants et de systèmes comprenant:
- modulateurs
- détecteurs
- guides d’ondes (bande ou crête)
- grilles pour le couplage de fibres
- tranchées profondes et les nano-cônes pour le couplage des bords
- multiplexeurs (diffraction ou guide d’onde en réseau) et filtres (résonateurs, réseaux de Bragg)
- résonateurs en anneau et à disque
FAB
Procédés de fabrication à usage général de la photonique sur silicium de AMF
Description
Caractéristiques
- SOI, 220 nm Si supérieur, 2 000 nm BOX
- lithographie de 193 nm pour guides d’ondes
- 6 implants pour modulateurs optiques
- Dépôt et implantation d’empreintes génétiques pour les photodétecteurs
- Deux niveaux de métal pour le routage et le chauffage métallique
Kits de conception et bibliothèques
- Trousse de conception : Mentor Graphics L-Edit Photonics pour le processus de la photonique sur silicium d’AMF (Advanced Micro Foundry)
- Trousse de conception : Plateforme de conception de photonique sur silicium de Luceda-Tanner-AMF
- Trousse de conception : Mentor Graphics Pyxis pour le processus de photonique sur silicium d’AMF
Tarification
Tarifs
Tarification pour abonnés
22 000 $
(par conception de 3 x 8 mm)
Noter : La tarification ne comprend pas le soutien technique – communiquez avec fab@cmc.ca pour obtenir des devis. Pous les devis d’exécution dédiés / à volume élevé, communiquez avec sales@cmc.ca.
Noter : Des tarifs réduits sont offerts aux universitaires au Canada qui ont un abonnement avec CMC. Vous devez vous connecter à votre compte pour le voir.
License
Communiquez avec licensing@cmc.ca.
Abonnement minimum requis : Recherche
Soumettre une demande
Votre recherche bénéficie-t-elle des produits et services offerts par CMC Microsystèmes ?