- Silicium sur isolant, couche de Si supérieure de 220 nm, oxyde enfoui (BOX) de 2 000 nm
- Système de lithographie par faisceau électronique de 100 keV permettant des fonctionnalités jusqu’à une profondeur de 60 nm
- Gravure complète sur le silicium supérieur pour une exécution de tranche multiprojet existante, gravure partielle sur silicone offerte prochainement
- Métallisation TiW/Al à trois couches et chauffeur d’alliage TiW offerts
- Options proposées de fenêtre d’oxyde métallique, de tranchée profonde pour couplage en périphérie et d’imagerie de microscope à balayage électronique
- Des implants pour modulateurs optiques seront offerts ultérieurement
- Prend en charge la conception et la fabrication d’un éventail de composants et de systèmes comprenant :
- des guides d’ondes (à bandes ou à moulures);
- des réseaux pour couplage de fibres;
- une tranchée profonde et des raccords progressifs nanométriques pour le couplage en périphérie;
- des multiplexeurs (diffraction ou guide d’ondes en réseau) et des filtres (résonateurs, réseaux de Bragg);
- des résonateurs en anneau et à disque.
Processus de fabrication NanoSOI d’Applied Nanotools (ANT)
Description
Caractéristiques
- SOI, couche supérieure de silicium de 220 nm, BOX de 2 000 nm
- Lithographie par faisceau d’électrons à 100 keV pour les guides d’ondes
- Un niveau métallique pour le routage plus un élément chauffant métallique
- Les options futures incluent des implants pour les modulateurs optiques
Remarque : toute personne accédant à cette technologie est tenue de lire et de signer un accord de confidentialité spécifique à cette technologie. Si vous ne l’avez pas encore fait, veuillez contacter le Dr Susan Xu dès que possible pour entamer les démarches.
Bibliothèques et trousses de conception
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Remarque :
- Les prix indiqués sont en dollars américains et n’incluent pas l’assistance technique. Contactez [email protected] pour un devis.
- Les prix sont susceptibles d’être modifiés.
Remarque :
Des prix réduits sont disponibles pour les universitaires au Canada avec un abonnement au CMC. Vous devez vous connecter pour le voir.
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Pour les universitaires canadiens
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