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Post-traitement de MEMSCAP pour PolyMUMPs

Description

En partenariat avec MEMSCAP Inc., CMC offre aux utilisateurs un accès à la technologie La technologie PolyMUMPs est un procédé de micro-usinage à surface métallique unique à triple polysilicium avec de l’oxyde déposé (PSG) comme matériau sacrificiel et du nitrure de silicium pour l’isolation électrique du substrat. Le post-traitement pour PolyMUMPS offre en option une libération HF et un séchage au dioxyde de carbone supercritique.  Cette technologie permet aux utilisateurs de développer l’acoustique, les capteurs de mouvement, les MEMS optiques, etc. et le micro-assemblage.  Pour de plus amples renseignements, communiquez avec fab@cmc.ca 

Fonctionnalités

  • Libération de HF en option et séchage au dioxyde de carbone supercritique.
  • Permet aux utilisateurs de développer l’acoustique, les capteurs de mouvement, les MEMS optiques, etc.

Trousses de conception et bibliothèques

Tarification

Tarifs
Tarification pour abonnés

750 $
(par conception de 4.75 x 4.75 mm)

Noter : La tarification ne comprend pas le soutien technique – communiquez avec fab@cmc.ca pour obtenir des devis. Pous les devis d’exécution dédiés / à volume élevé, communiquez avec sales@cmc.ca.
Noter : Des tarifs réduits sont offerts aux universitaires au Canada qui ont un abonnement avec CMC. Vous devez vous connecter à votre compte pour le voir.

Licences

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