FAB

Processus de jonction SWAPS en niobium de VTT

Description

Ce processus en deux couches permet la fabrication de jonctions SWAPS (« side-wall passivated spacer ») en niobium au moyen d’une triple couche Nb-Al-AlOx-Nb avec une couche supérieure de câblage en niobium.

CMC offre ce procédé dans le cadre d’un service de plaquettes multiprojets (MPW).

  • Jonctions à triple couche Nb-Al-AlOx-Nb
  • Substrat en silicium à résistivité élevée
  • Couche supérieure de câblage en Nb
  • Ce procédé offre 20 copies de conception.

Applications

  • Jonction de Josephson
  • SQUID
  • JPA (« Josephson parametric amplifier »)
  • Composants électroniques à basse température
  • Résonateurs
  • Qubits

Services

  • Trousses de conception
  • Services de vérification des règles de conception
  • Soutien en matière d’ingénierie de CMC

Caractéristiques

Triple couche pour jonction et couche métallique supplémentaire

Tarification

Tarif
Prix pour les abonnés
Remarque : Les prix indiqués sont en dollars américains et n’incluent pas l’assistance technique. Contactez fab@cmc.ca pour un devis.
Remarque : Des prix réduits sont disponibles pour les universitaires au Canada avec un abonnement au CMC. Vous devez vous connecter pour le voir.

Licences

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