Post-traitement de Science Foundry pour Poly MEMS
En partenariat avec Science Foundry, CMC offre aux utilisateurs un accès à la technologie La technologie Poly MEMS est un procédé de micro-usinage à surface métallique unique à triple polysilicium avec de l’oxyde déposé (PSG) comme matériau sacrificiel et du nitrure de silicium pour l’isolation électrique du substrat. Le post-traitement pour Poly MEMS offre en option une libération HF […]
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