Processus de Teledyne Micralyne Micralyne MicraGEM-Si™ MEMS
Micralyne MicraGEM-SiTMD est un processus MEMS basé sur silicium sur isolant (SOI) qui réduira le coût initial et le risque de développement de prototypes, tout en accélérant le délai de mise sur le marché des dispositifs MEMS. MicraGEM-SiMD est parfaitement adapté à la fabrication de miroirs inclinables et de matrices de miroirs pour atténuateurs optiques variables (VOA) et […]
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