FAB

Plateforme MIDIS de Teledyne DALSA

Description

La plateforme MEMS Integrated Design for Inertial Sensors (MIDIS ™) est conçue pour fournir un processus standard de fabrication d’accéléromètres et de gyroscopes et de les intégrer dans une unité de mesure inertielle (IMU) pour des domaines d’application tels que le grand public (mobile), l’automobile, l’aérospatiale et les marché des sports et de la santé. 

La plateforme MIDIS™ est proposée en tant que service de plaquettes multiprojets via CMC Microsystèmes et est disponible pour la RD académique et industrielle. Ensemble, CMC et Teledyne DALSA offrent une voie transparente de la confirmation de conception de plaquettes multiprojets à la fabrication en série.  

Remarque: le nombre prévu de puces à livrer pour cette technologie est de 40. 

Applications

  • Accéléromètres
  • Gyroscopes
  • Résonateurs
  • Combinaison de capteurs inertiels (fusion de capteurs)

Services

  • Outils CAO
  • Trousses de conception (Cadence, Coventorware, Tanner / MEMSPro L-Edit)
  • Accès aux ingénieurs de soutien de CMC
  • Services de vérification des règles de conception
  • Documentation comprenant des manuels de conception, des notes d’application et des méthodologies de conception
  • Services d’emballage et d’assemblage

Fonctionnalités

  • L’étanchéité sous vide poussé sans piège permet des facteurs Q de résonateur > 20 000
  • L’emballage efficace au niveau des plaquettes minimise la taille globale de la matrice
  • Taille caractéristique de 1,5 μm dans une membrane de 30 μm d’épaisseur
  • Le contrôle de la hauteur du peigne permet une détection hors plan
  • TSV permet une conception compacte prête pour le co-emballage
  • Livre 40 copies pour chaque conception
  • MEMS à cavité scellée
  • Couche de structure de 30 μm
  • Vide poussé

Kits de conception et bibliothèques

Tarification

Tarif
Prix pour les abonnés
Remarque : Les prix indiqués sont en dollars américains et n’incluent pas l’assistance technique. Contactez fab@cmc.ca pour un devis.
Remarque : Des prix réduits sont disponibles pour les universitaires au Canada avec un abonnement au CMC. Vous devez vous connecter pour le voir.

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