Développement plus rapide de recettes de gravure et de dépôt grâce à SandBoxMC Studio

16 juillet 16, 2020 @14h00 HAE

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Le développement de recettes de gravure et de dépôt pour la fabrication dans les domaines de la microélectronique, des systèmes microélectromécaniques (MEMS) ainsi que des dispositifs photoniques et microélectroniques intégrés est un processus long et coûteux.  À l’échelle mondiale, l’industrie de la microélectronique consacre plus de 1,2 milliard de dollars américains par année uniquement pour le développement de telles recettes.    Malgré tout, la conception de recettes de pointe se fait encore de manière empirique, par essai et erreur.    La présentation abordera des techniques de modélisation et de visualisation intégrées au logiciel SandBoxMC Studio. Celles-ci se sont avérées utiles pour réduire d’un facteur de trois le temps et les coûts de développement de recettes de gravure et de dépôt.  Grâce à des modèles statistiques et basés sur la physique, SandBoxMC Studio propose un cadre de travail efficace pour organiser et interpréter des données expérimentales. Le logiciel permet également de déterminer, dans le cas des processus de gravure et de dépôt impliquant plusieurs matériaux et étapes, les éléments d’importance pour atteindre les dimensions critiques souhaitées.  La puissance de SandBoxMC Studio sera illustrée au moyen d’une étude de cas sur la détermination d’une gravure optimale avec un facteur de forme élevé pour une architecture 3D NAND.  Nous effectuerons également une démonstration en direct du logiciel pour illustrer la manière dont celui-ci peut accélérer la création de recettes en laboratoire.

SandbaoxSemiPrésentatrice : Meghali Chopra est la PDG et la cofondatrice de l’entreprise SandBoxMC Semiconductor.  Elle a reçu un B. Sc. avec distinction en génie chimique de l’Université Stanford en 2011, et un PhD en génie chimique de l’Université du Texas à Austin en 2017.  En tant que chercheuse de cycle supérieur attachée à la National Science Foundation, ses travaux au doctorat ont porté sur l’utilisation de conceptions expérimentales basées sur des modèles afin d’optimiser la gravure et le dépôt au plasma.    En 2016, Mme Chopra a remporté la première place à la compétition Texas Venture Labs Investment ainsi que la première place à la compétition Idea-to-Product de l’Université du Texas à Austin.  En 2017, Mme Chopra a reçu un prix Courageous Woman lors de la compétition Rice Business Plan.  Mme Chopra a récemment été reconnue dans la catégorie « 30 under 30 Science » de la revue Forbes et est la coinventrice de nombreuses technologies exclusives de SandBox.

SandBox Semiconductor : Fondée en juin 2016, l’entreprise SandBox Semiconductor a pour objectif de devenir le principal fournisseur d’outils logiciels de développement de processus dans l’industrie des semiconducteurs.  Grâce aux outils de simulation prédictive avancée de SandBox Semiconductor, le développement de processus est désormais optimisé et plus rapide, ce qui réduit le temps de mise en marché et les coûts totaux.  SandBox Semiconductor collabore partout dans le monde avec des fabricants de circuits intégrés et d’outils afin de proposer des solutions logicielles sur mesure pour les processus de gravure et de dépôt les plus exigeants.

www.sandboxsemiconductor.com 

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