FAB

Processus de fabrication NanoSOI d’Applied Nanotools (ANT)

Description

  • Silicium sur isolant, couche de Si supérieure de 220 nm, oxyde enfoui (BOX) de 2 000 nm
  • Système de lithographie par faisceau électronique de 100 keV permettant des fonctionnalités jusqu’à une profondeur de 60 nm
  • Gravure complète sur le silicium supérieur pour une exécution de tranche multiprojet existante, gravure partielle sur silicone offerte prochainement
  • Métallisation TiW/Al à trois couches et chauffeur d’alliage TiW offerts
  • Options proposées de fenêtre d’oxyde métallique, de tranchée profonde pour couplage en périphérie et d’imagerie de microscope à balayage électronique
  • Des implants pour modulateurs optiques seront offerts ultérieurement
  • Prend en charge la conception et la fabrication d’un éventail de composants et de systèmes comprenant :
    • des guides d’ondes (à bandes ou à moulures);
    • des réseaux pour couplage de fibres;
    • une tranchée profonde et des raccords progressifs nanométriques pour le couplage en périphérie;
    • des multiplexeurs (diffraction ou guide d’ondes en réseau) et des filtres (résonateurs, réseaux de Bragg);
    • des résonateurs en anneau et à disque.

Caractéristiques

  • Silicium sur isolant, couche de Si supérieure de 220 nm, BOX de 2 000 nm
  • Système de lithographie par faisceau électronique de 100 keV pour guides d’ondes
  • Niveau métallique pour l’acheminement et le chauffeur de métal
  • Des options d’inclusion d’implants pour modulateurs optiques seront proposées ultérieurement

Remarque : Chaque accès individuel à la technologie exige de lire et de signer une entente de confidentialité propre à la technologie. Si cela n’est pas encore fait, communiquez avec Dr. Susan Xu à ce sujet dès que possible.

Bibliothèques et trousses de conception

Tarification

Tarif
Prix pour les abonnés
Remarque : Les prix indiqués sont en dollars américains et n’incluent pas l’assistance technique. Contactez fab@cmc.ca pour un devis.
Remarque : Des prix réduits sont disponibles pour les universitaires au Canada avec un abonnement au CMC. Vous devez vous connecter pour le voir.

License

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