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Processus de Teledyne Micralyne Micralyne MicraGEM-Si™ MEMS

Description

Micralyne MicraGEM-SiTMD est un processus MEMS basé sur silicium sur isolant (SOI) qui réduira le coût initial et le risque de développement de prototypes, tout en accélérant le délai de mise sur le marché des dispositifs MEMS.  MicraGEM-SiMD est parfaitement adapté à la fabrication de miroirs inclinables et de matrices de miroirs pour atténuateurs optiques variables (VOA) et modules de commutation sélective de longueur d’onde (WSS), couramment utilisés dans les réseaux de télécommunications à fibre optique ainsi que les résonateurs, les capteurs inertiels et biologiques. Remarque: le nombre prévu de puces à livrer pour cette technologie est de 15. 

Applications

  • Technologie d’affichage
  • Optique et télécommunications
  • Détection inertielle
  • Détection biomédicale et environnementale

Services

  • Trousses de conception
  • Documentation y compris des manuels de conception
  • Les fiches de données peuvent être commandées par http://www.micralyne.com/data-sheets/
  • Services de vérification des règles de   conception
  • Soutien technique de CMC
  • Accédez à un soutien communautaire et à des collaborations
  • Consultation sur la conception*
  • Services d’emballage et d’assemblage*
*  Des frais supplémentaires s’appliquent.

Caractéristiques

  • Deux couches de structure épaisses SOI avec jusqu’à trois niveaux fonctionnels de l’option d’épaisseur de silicium. Cela permet des structures telles que des actionneurs à entraînement par peigne vertical.
  • Les couches de base et supérieure de l’appareil sont connectées électriquement via l’interface de liaison, permettant le routage 3D des signaux électriques.
  • La métallisation à l’or à faible contrainte à motifs sur la surface supérieure convient aux miroirs hautement réfléchissants et aux plages de contact pour le collage de fils d’or.
  • Taille de conception 4 mm x 4 mm
  • SOI MEMS
  • Deux couches de structure
  • Trois profondeurs de tranchées /li>

Trousses de conception et bibliothèques

Tarification

Tarifs
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Séries de fabrication dédiées exclusivement. Communiquez avec fab@cmc.ca.

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License

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