La formation 2024 de CMC Microsystèmes sur la conception de MEMS propose la conception de multiples dispositifs MEMS à l’aide d’outils de simulation et de technologies de fabrication MEMS de base. Nous présenterons les kits de conception PolyMUMPs multi-projets de CMC et la manière de mettre en œuvre les dispositifs conçus dans le cadre de la formation en utilisant cette technologie. La technologie PolyMUMPs est un processus de micro-usinage de surface à triple polysilicium et à métal unique avec de l’oxyde déposé (PSG) comme matériau sacrificiel et du nitrure de silicium pour l’isolation électrique du substrat. En plus de l’exposition aux outils de CAO pour l’édition des schémas.
Les MEMS optiques ont créé un nouveau paradigme de fabrication pour les dispositifs et systèmes optiques. Conçus pour une fabrication rentable à l’échelle de la plaquette, ces dispositifs MEMS optiques utilisent des processus dérivés de l’industrie des semi-conducteurs. La capacité essentielle de diriger et d’orienter la lumière définit l’essence des commutateurs optiques MEMS. D’abord motivée par les technologies d’affichage, l’évolution des commutateurs optiques MEMS a fait une transition transparente vers les télécommunications. Les grands commutateurs entièrement optiques peuvent réduire le besoin de conversions optiques-électriques-optiques dans l’acheminement du trafic internet par les réseaux à fibres optiques. Les principaux aspects d’un commutateur optique MEMS sont les pièces mécaniques mobiles appelées MEMS et les pièces de transmission du signal optique qui peuvent consister en des guides d’ondes précis et des micro-miroirs.
Thèmes
Dans le cadre de cette formation en ligne, les participants apprendront :
- Introduction à la théorie du fonctionnement des actionneurs MEMS de base.
- Interrupteurs et résonateurs RF.
- Démonstration de l’utilisation de COMSOL Multiphysics pour la modélisation du comportement thermique, mécanique et électromagnétique des MEMS.
- Principes de base de la technologie MEMS optique.
- Processus de microfabrication pour l’intégration de SiN dans les MEMS à base de SOI.
- Technologie PiezoMUMPs pour la conception d’actionneurs MEMS hybrides.
- FEM de conceptions d’actionneurs MEMS électrostatiques et piézoélectriques dans COMSOL Multiphysics.
- Simulation FEM de la perte de propagation, de la perte de couplage et de la perte de courbure du guide d’ondes.
- Processus de microfabrication pour les validations de conception MEMS utilisant la technologie PiezoMUMPs.
- Un bref aperçu de la conception du masque de microfabrication nécessaire à l’intégration des MEMS dans les guides d’ondes optiques
Participants visés
Les participants sont principalement des étudiants universitaires qui souhaitent apprendre la méthodologie de conception de base pour développer des dispositifs MEMS. L’inscription est ouverte aux étudiants et aux chercheurs.
Pré-requis
Vous êtes un membre du corps enseignant, un étudiant ou un membre du personnel de recherche d’un établissement universitaire canadien ou étranger. Vous devez disposer d’un ordinateur et d’une connexion internet pour le cours en ligne.
Calendrier
| Date | Heure | Emplacement |
| 8 et 9 mai 2024 | de 10h à 5h30 (HAE) | En ligne |
L’ordre du jour
Jour 1 – 8 mai (mercredi)
| Heure (HAE) | Séance |
| 10h – 12h |
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| 12h – 13h | Pause 1 |
| 13h – 15h |
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| 15h – 15h30 | Pause 2 |
| 3h30 – 17h30 |
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Jour 2 – 9 mai (jeudi)
| Heure (HAE) | Séance |
| 10h – 12h |
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| 12h – 13h | Pause 1 |
| 13h – 15h |
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| 15h – 15h30 | Pause 2 |
| 15h30 – 17h30 |
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Tarification et inscription
| Catégorie de participants | Tarif | Inscription |
| Abonnné | 200 $ * | |
| Universitaire | 1000 $ | |
| Général |
2000 $ |
*Un prix réduit est disponible pour plusieurs étudiants du même compte d’abonné. Contactez Sarah J. Neville pour plus d’informations.
Instructeur
| Nom | Sujet | Biographie |
| Amr Samir |
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Amr Samir est membre du personnel technique chargé du conditionnement et de l’intégration RF/MEMS/NEMS chez CMC Microsystèmes. Il est titulaire d’un doctorat en génie électrique de l’Université de Waterloo (Ontario). |
| Suraj Sharma |
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Suraj Sharma est chercheur de doctorat à l’École de technologie supérieure (ÉTS), où il développe des solutions de commutation optique planaire basées sur les MEMS pour les applications de télécommunication. Chez CMC Microsystèmes, il est scientifique au sein de l’équipe MEMS, nanofabrication et intégration, et contribue à réduire les obstacles à la mise en œuvre de conceptions MEMS dans les processus MPW existants et à venir. |
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Niharika Kohli |
Simulations optiques pour la conception de commutateurs optiques efficaces | Niharika Kohli est scientifique au sein de l’équipe photonique de CMC Microsystems. Avant de rejoindre CMC, elle a travaillé comme post-doctorante à l’ETS. Son expertise porte sur la conception, la simulation et la caractérisation de dispositifs photoniques en silicium. Elle participe à l’exécution du MPW photonique et au développement du PDK chez CMC. |
Coordonnées
Si vous avez des commentaires ou des questions au sujet du contenue de cet atelier, veuillez communiquer avec Sarah J. Neville.
Annulation
Vous devez nous faire parvenir votre annulation de cours par écrit au moins une (1) semaine avant la date de début du cours afin d’être admissible à un remboursement complet des frais d’inscription. Une inscription annulée après la date limite ne sera pas remboursée. CMC Microsystèmes ne s’engage pas à rembourser les frais de déplacement ou d’hébergement.