FAB

Processus de jonction aluminium VTT

Description

Ce procédé permet de fabriquer des structures coplanaires sur un substrat de silicium à haute résistivité, comme des résonateurs avec des facteurs de qualité d’environ un million. Les jonctions en aluminium (style Manhattan) fabriquées par lithographie par faisceau d’électrons peuvent être utilisées pour fabriquer des qubits transmoniques.

CMC propose ce procédé dans le cadre d’un service de plaquettes multi-projets (MPW).

  • Joints Al-AlOx-Al avec une résistance à l’état normal allant de 4k à 15 kOhm
  • Substrat de silicium à haute résistivité
  • Couche de câblage en Nb

Applications

  • Joints de Josephson
  • SQUIDs
  • Résonateurs
  • Qubits
  • Électronique à basse température

Services

  • Kits de conception
  • Services de vérification des règles de conception
  • Support d’ingénierie CMC

Fonctionnalités

  • Résonateurs en Nb avec un facteur Q d’environ un million
  • Joints en aluminium

Tarification

Tarif
Prix pour les abonnés

30 000 $
(per 5 x 5 mm2 design)

Remarque : Les prix indiqués sont en dollars américains et n’incluent pas l’assistance technique. Contactez fab@cmc.ca pour un devis.

Noter:

  1. Des prix réduits sont disponibles pour les universitaires au Canada avec un abonnement au CMC. Vous devez vous connecter pour le voir.
  2. Les clients de VIE peuvent bénéficier d’une réduction. Contactez sales@cmc.ca pour obtenir de l’aide.
  3. Des puces de taille plus grande ou plus petite peuvent être prises en compte dans le tirage en envoyant une demande spéciale à fab@cmc.ca.

License

Communiquez avec licensing@cmc.ca.

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